
扫描电子显微镜(简称:扫描电镜)应用领域广泛,主要体现在化工、能源、电子、半导体等领域。
国内扫描电镜产品95%以上是进口的,主要来源日本、德国等发达国家。在行业上,通过本项目实施打破国外技术垄断局面,取代日本、德国在国内高端检测设备垄断地位,将极大降低我国材料实验室建设成本。
本项目实现了台式扫描电镜的控制系统、镜筒、高压、真空系统、信号采集和处理、软件等全部关键组件的自主研发和制造。
首创EDS和扫描电镜系统融合技术,本项目EDS和扫描电镜的系统融合是一个行业内的创新,基于善时仪器成熟的能谱仪技术,在配置EDS时,使软硬件完美的结合,让使用更加方便,性能更加稳定。





